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26系列閥門是波紋管密封的,專為泵送系統(tǒng),半導體技術,研究系統(tǒng)等領域的高真空應用而設計。本系列高真空角閥帶波紋管饋入裝置,模塊化設計。
執(zhí)行器類型
手動執(zhí)行器(手輪可拆卸)
電磁執(zhí)行器(單閉合彈簧NC,帶控制電子元件)
氣動執(zhí)行器(雙作用)
氣動執(zhí)行器(帶閉合彈簧NC或打開彈簧NO)
VAT公司由Siegfried Schertler于1964年創(chuàng)立,是一家總部位于瑞士Hagg(靠近St.Gallen)的跨國公司。在真空閥門、模組、波紋管、半導體及真空鍍膜行業(yè)的相關服務、研發(fā)領域,是 進的研發(fā)和制造商。公司是經ISO 9001和ISO14001認證的,并定期進行其它的外部評估。瑞士VAT公司是一家在全球真空閥門制造領域處于 位的公司,專門生產高品質和創(chuàng)新設計的真空閥門系列產品。
VAT 主要服務于半導體、平板顯示器、太陽能、光電、真空鍍膜、其他高性能真空系統(tǒng)、科研機構等高科技領域;多年來持續(xù)占有全球市場主要 。VAT專注于真空閥門領域,因其強大的研發(fā)創(chuàng)新和業(yè)界聞名的高品質, 半導體芯片設備以及太陽能設備制造廠商都在其機臺設備中大量采用了VAT公司的產品。
作為一種用于高真空系統(tǒng)中的閥門,VAT真空閥結構緊湊,精確控制,安全可靠,其創(chuàng)新設計主要體現在以下幾個方面:
結構緊湊,體積小巧:這種閥門采用了先進的設計理念,使得其結構非常緊湊,體積小巧,方便安裝和使用。
高性能材料:VAT真空閥通常采用高性能材料制造,如不銹鋼、鋁合金等,這些材料具有良好的耐腐蝕性和耐磨性,能夠確保閥門的長期穩(wěn)定工作。
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